差压式流量计量表与热式质量流量计量表的性能比较

V10FC系列气体质量流量控制器/流量计（以下称MFC/MFM）通过测量层流元件的差压、压力、温度来计算流量，这种测量方式具有固有的线性,重复性好,高精度,无需预热,温漂小等特点。本产品可以同时测量4种参数：气体的瞬时流量、累计流量、温度和绝压，并且可以同时显示和输出。

虽然传统的热式原理不需经过温压补偿即可以直接测量气体的质量流量,但是热式原理产品具有先天性的缺陷：长期加热的工作模式产生的热漂移,反应速度慢等缺点是不可避免的,而采用差压原理的MFC/MFM几乎无零点和温度漂移,反应速度快,无需预热,上电即可操作,解决了长期困扰客户的问题。目前，一些ling先的热式流量计厂家正在纷纷开发差压式质量流量计。

差压式与热式质量流量计的原理性能对照表